基于Ronchi剪切干涉的投影物鏡數(shù)值孔徑測(cè)量方法

摘要： 數(shù)值孔徑（NA）作為投影物鏡的基本參數(shù)，決定了投影物鏡的成像分辨率。在利用雙光柵Ronchi剪切干涉儀測(cè)量投影物鏡波像差時(shí)，NA也是實(shí)現(xiàn)波像差高精度檢測(cè)的一項(xiàng)基本參數(shù)。提出了一種基于Ronchi剪切干涉像面光柵軸向離焦的投影物鏡NA測(cè)量方法，理論推導(dǎo)了像面光柵離焦時(shí)空間光程差的數(shù)學(xué)表達(dá)式，通過測(cè)量軸向兩個(gè)不同位置處的剪切波前并提取傾斜項(xiàng)系數(shù)，利用兩個(gè)軸向位置的距離以及傾斜項(xiàng)系數(shù)...