加窗加權(quán)插值離散傅里葉變換在波長掃描干涉儀中的應(yīng)用

摘要： 針對現(xiàn)有的波長掃描干涉儀在采樣范圍內(nèi)信號周期數(shù)較少時(shí)含有比較嚴(yán)重的信號頻譜泄漏，導(dǎo)致較大的恢復(fù)誤差的問題，提出一種基于加窗加權(quán)插值離散傅里葉變換(DFT)的頻率估計(jì)的光程差恢復(fù)算法，該算法在信號采樣長度為2～3個(gè)周期時(shí)仍能很好地抑制頻譜泄漏．仿真結(jié)果顯示：當(dāng)周期數(shù)較少時(shí)，該算法恢復(fù)精度相比于現(xiàn)有的傅里葉變換相位斜率法有很大提高．對平面鏡及單刻線標(biāo)準(zhǔn)樣板的測量實(shí)驗(yàn)顯示：加窗加權(quán)插...