高性能超導相變邊緣單光子探測器（特邀）

摘要： 研究了鈦膜的特性及調(diào)控機制，通過烘烤后處理工藝分析了臨界溫度隨烘烤時間和烘烤溫度的變化關(guān)系，發(fā)現(xiàn)臨界溫度隨烘烤時間對數(shù)降低，但是隨烘烤溫度指數(shù)降低。拓展了二流體模型提取了超導相變邊緣單光子探測器的溫度靈敏度系數(shù)和電流靈敏度系數(shù)，并結(jié)合脈沖響應(yīng)得到了器件的熱容，進一步理論計算了能量分辨率對器件臨界溫度的依存性。最終，在器件制備過程中集成光學腔體，在1 550 nm波長的光子吸收效...