用長(zhǎng)程面形儀對(duì)變線距光柵的線密度進(jìn)行拼接測(cè)量

摘要： 隨著同步輻射光源中光束線的分辨率不斷提高，衍射光柵成為影響分辨率的關(guān)鍵因素，因此，在將光柵安裝到光束線之前，需要進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)試。用長(zhǎng)程面形儀測(cè)量合肥光源光電子能譜線所需的變線距光柵的線密度，光柵衍射角變化范圍超出長(zhǎng)程面形儀的測(cè)量范圍，因此采用拼接測(cè)量。用數(shù)據(jù)重疊測(cè)試及數(shù)據(jù)處理方法，消除了轉(zhuǎn)臺(tái)定位誤差，有效抑制了隨機(jī)誤差，使光柵周期測(cè)量的重復(fù)性有較大提高。不同重疊率的測(cè)試結(jié)果顯示...