亞微米分辨率Wolter顯微鏡的設(shè)計(jì)

摘要： 受限于初始構(gòu)型和光學(xué)加工能力，現(xiàn)有X射線成像診斷設(shè)備的最優(yōu)空間分辨率被限制在3～5μm。提出一種基于開放式Wolter構(gòu)型的亞微米分辨率X射線顯微鏡。詳細(xì)介紹了顯微鏡的光學(xué)結(jié)構(gòu)、設(shè)計(jì)方法和關(guān)鍵參數(shù)。提出一種適用于Rayleigh-Taylor不穩(wěn)定性診斷的大視場(chǎng)、高分辨率X射線顯微鏡的光學(xué)設(shè)計(jì)方案。開展了基于光線追跡的構(gòu)型驗(yàn)證、像質(zhì)仿真和系統(tǒng)響應(yīng)效率評(píng)價(jià)。顯微鏡設(shè)計(jì)工作能點(diǎn)為2...