系統(tǒng)工程方法及其在先進(jìn)半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的應(yīng)用
激光與光電子學(xué)進(jìn)展
頁數(shù): 11 2022-05-10
摘要: 系統(tǒng)工程方法在國內(nèi)外以航空航天、國防科技和船舶工程等為代表的復(fù)雜設(shè)備系統(tǒng)的研發(fā)中發(fā)揮了重要作用。
針對以光刻機(jī)為代表的先進(jìn)半導(dǎo)體裝備的研發(fā),發(fā)展和提升以正向設(shè)計引領(lǐng)、以系統(tǒng)工程方法為指導(dǎo)的自主創(chuàng)新和設(shè)計制造一體化能力顯得尤其重要。
從系統(tǒng)工程的起源著手,介紹了系統(tǒng)工程的常見方法,并以半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的應(yīng)用為背景重點介紹了系統(tǒng)工程的工具鏈和基于模型的系統(tǒng)工程(MBSE)的部分關(guān)鍵技術(shù)。 (共11頁)