柔性尖端耦合氣泡的高穩(wěn)定性增強(qiáng)型超聲微流控結(jié)構(gòu)

摘要： 超聲微流控技術(shù)是一種將高頻超聲激勵耦合至微流控芯片的技術(shù)。針對常規(guī)超聲微流控器件柔性尖端結(jié)構(gòu)擾動效果差以及氣泡易受熱變形等問題，提出一種柔性尖端耦合氣泡的增強(qiáng)型超聲微流道結(jié)構(gòu)，提高流場擾動效果以及結(jié)構(gòu)穩(wěn)定時長。首先，利用有限元分析方法對超聲激勵下柔性尖端、氣泡、耦合三種結(jié)構(gòu)的流場分布特性進(jìn)行仿真，得到速度場穩(wěn)態(tài)分布特性。然后，設(shè)計(jì)并制備三種結(jié)構(gòu)的超聲微流控芯片，利用2.8μm聚... （共8頁）