用于生理健康和動(dòng)作行為監(jiān)測的柔性多相鈦酸鋇壓電傳感器研究

摘要： 自供電可穿戴壓電傳感設(shè)備需要柔韌性和高壓電性以滿足個(gè)性化健康安全管理需求。針對(duì)壓電陶瓷壓電性高、柔性差的特點(diǎn)，本文設(shè)計(jì)了一種基于多相鈦酸鋇（BTO）柔性壓電陶瓷膜的高性能壓電傳感器，即多相BTO傳感器。無襯底自支撐的多相BTO膜具有優(yōu)異的柔韌性，厚度為33μm時(shí)可實(shí)現(xiàn)180°彎曲，厚度為5μm時(shí)可在1×10~4次彎曲循環(huán)中表現(xiàn)出良好的抗彎曲疲勞性。所制備的多相BTO傳感器在經(jīng)過... （共10頁）