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基于MEMS熱電堆器件測試的紅外輻射激勵(lì)設(shè)計(jì)

江漢大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版) 頁數(shù)： 7 2016-07-08
摘要： 在微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical system,MEMS)熱電堆器件的測試中,如何給熱電堆器件施加合理的周期性紅外輻射激勵(lì)是能否得到正確器件參數(shù)的關(guān)鍵。在開發(fā)適用于MEMS熱電堆器件的晶圓級測試系統(tǒng)的過程中,提出了一種光學(xué)能量傳輸方案,該方案采用MEMS紅外光源JSIR450替代了傳統(tǒng)黑體爐作為紅外輻射激勵(lì)源,采用快門替代了光學(xué)斬波器對紅外信號進(jìn)行... （共7頁）

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