雙層PZT相控陣換能器研究

摘要： 為了提升醫(yī)用相控陣的圖像性能，需要用高靈敏度、高帶寬的相控陣換能器。通過(guò)雙層PZT設(shè)計(jì)，降低換能器電阻抗，進(jìn)而改進(jìn)等效電阻抗匹配。在整體振元寬高比固定的情況下，測(cè)試不同厚度組合的靜態(tài)電容和壓電耦合系數(shù)，找出最佳的雙層PZT厚度組合；制作出等厚度雙層PZT相控陣換能器，該換能器比常規(guī)單層ZPT換能器在靈敏度提高4.56dB，帶寬提高5.23%。等厚雙層PZT工藝可有效改善小尺寸振...