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光電子能譜儀（photoelectron spectrograph）是利用光電效應(yīng)測出光電子的動(dòng)能及其數(shù)量的關(guān)系，由此來判斷樣品表面各種元素含量的儀器?？煞治龉?、液、氣樣品中除氫以外的一切元素。
主要用途
1.XPS測定 2.XPS成象 3.深度剖析 4.微區(qū)分析 5.角分辨XPS 可應(yīng)用于各種固體材料表面（界面）的元素及化學(xué)態(tài)的定性、半定量、結(jié)構(gòu)分析及化學(xué)鍵研究。
儀器類別
指標(biāo)信息
空間分辨（μ） 能量分辨（eV) 靈敏度(CPS) 大面積 1.0 4×106 大面積 0.5 4×105 30 1.0 8×103 30 0.5 2×103 20 1.4 2.2×103
附件信息
1.X-射線單色器 2.氬離刻蝕槍 3.電子中和槍 4.樣品加熱裝置（1000k) 5.五軸向樣品旋轉(zhuǎn)裝置, 中國科學(xué)研究院化學(xué)研究所電子能譜實(shí)驗(yàn)室已從事該領(lǐng)域工作二十多年，積累了相當(dāng)豐富的經(jīng)驗(yàn)，完成中國科學(xué)院科研課題、國家重大科研課題及國家自然科學(xué)基金等項(xiàng)目多項(xiàng)，并為所內(nèi)外提供XPS分析測試服務(wù)，年均實(shí)驗(yàn)機(jī)時(shí)大于1200小時(shí)。
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